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〔自由時報記者洪美秀/新竹報導〕清華大學材料系游萃蓉教授,以「一種可用於電子顯微鏡樣品裝置結構及其製作方法」獲得今年度國家發明獎銀牌,此專利技術可對其奈米成分進行液態穿透電顯觀察,有助未來推動生技產業和奈米藥物開發。
游萃蓉表示,會進行此實驗是因好奇,就是想觀察活體,液體內生物是怎麼活動,由於目前所使用解析度最高的影像分析儀器是穿透式電子顯微鏡,成像原理是藉由穿透電子束和試片交互作用,故腔體內部需要高真空,因此一般活體和液體樣品無法在穿透式電子顯微鏡下操作。
游萃蓉與博士班學生劉國良從微機電技術著手,與清大張晃猷、劉承賢教授和交大徐琅及彭慧玲教授合作,經過嘗試及改良,終於研發出一種可觀測液體的裝置K-kit。
游萃蓉表示,此裝置是矽晶圓上沉積氧化矽薄膜,只要將此薄膜堆疊封裝,於其中填入欲觀測樣品,透過高強度的氧化矽薄膜隔絕真空、保護樣品,就可維持樣品原始狀態,進而觀察。
游萃蓉說,經與業界合作後,使用在半導體微機電技術商業化量產,六吋晶圓可製作數百顆產品,不僅可大量生產降低成本,且這項產品為可拋式,不會造成樣品污染。
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